Regulator s masenim protokom opće namjene - MKS 1179C
1179C je kontroler opće namjene masenog protoka koji je dizajniran za mjerenje i kontrolu protoka plinova u širokom nizu primjena. Regulatori protoka mase 1179 dostupni su s rasponom Full Scale od 10 sccm do 20 slm, osiguravajući brzu, ponavljanu kontrolu protoka sve do ...
- Uvod u proizvod
UVOD
1179C je kontroler opće namjene masenog protoka koji je dizajniran za mjerenje i kontrolu protoka plinova u širokom nizu primjena. Regulatori protoka mase 1179 dostupni su s rasponom punog stupnja od 10 sccm do 20 slm, osiguravajući brzu, ponavljanu kontrolu protoka sve do 0,2 sccm. Također se može koristiti kao regulator tlaka kada je priključen na odgovarajući pretvornik tlaka.
1179C je izravna zamjena za funkcionalnu funkciju najčešćih MFC-ova na tržištu danas. Standardni 3-inčni otisak omogućuje 1179C ispuštanje izravno u isti prostor bez mijenjanja postojećih plinskih vodova. Električni priključci su iste vrste "D" konektora, s istim pin-outs, signale i funkcije kao i njihovi industrijski kolege, tako da nije potreban kabel ili konektor ponovnog uključivanja. 1179C je kompatibilan s MFC izvorom napajanja i zaslonom tvrtke MKS ili drugim proizvođačima.
ZNAČAJKE I PREDNOSTI
◆ Patentirani 1 dizajn senzora pruža izvanrednu nultu stabilnost
◆ Cijeli raspon mjerenja kreće se od 10 sccm do 20 slm za precizno i ponovljivo mjerenje protoka i kontrolu
◆ Točka preciznosti cijelog skale za analogne konfiguracije
◆ Brzo vrijeme zagrijavanja smanjuje skupe zastoje u proizvodnji
◆ Kompatibilan je s ranijim MKS MFC i modulima napajanja / očitavanja
◆ Rigorozno oblikovanje i ispitivanje uključuje MTBF analizu i STRIFE testiranje kako bi se osigurala dugoročna izvedba
◆ Premazivanje površina premazanih nehrđajućih površina, prerada čiste prostorije i minimalna upotreba elastomerskih brtvi omogućuju korištenje u zahtjevnim čistim procesima
◆ Dvogodišnje jamstvo osigurava kvalitetu i zadovoljstvo kupaca
STRUKTURA
Dijagram poprečnog presjeka nadređenog regulatora 1179C Mass-Flo
Točnost protoka i ponovljivost
Gornji grafikon prikazuje tipičnu točnost protoka i ponovljivost analognih MFC-ova u obitelji 1179C. Mjerenja su napravljena korištenjem MKS Instruments Califlow® Primarnog standardnog kalibratora protoka tijekom razdoblja od 10 dana.
Nula stabilnost
Gornji grafikon pokazuje izvrsnu stabilnost nula i raspona 1179C senzora koji se koristi u obitelji 1179. Instrumenti su bili uključeni i nasumično testirani na nulu i raspon dometa tijekom razdoblja od 19 mjeseci.
SPECIFIKACIJA
| Puni raspon mjerila (N 2 ekvivalent) | 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000 sccm | |
| Maksimalni ulazni tlak | 150 psig | |
Normalan radni tlak Diferencijal (s atmosferskim tlak na MFC izlazu) | 10 do 5000 sccm | 10 do 40 psid |
| 10000 do 30000 sccm | 15 do 40 psida | |
| Kontrolni raspon | 2% do 100% FS | |
Točnost (analogna) (uključujući ne-linearnost, histerezu i ne-ponovljivost referiran na 760 mmHg i 0 ° C) | ± 1,0% FS | |
| ponovljivost | ± 0,2% FS | |
| rezolucija | 0,1% FS | |
| Koeficijenti temperature | Nula | <0,05% fs="" °=""> |
| pedalj | <0,08%> | |
| Vrijeme zagrijavanja (do 0,2% FS-a od stalnog stanja) | <2> | |
| Vrijeme reguliranja regulatora (prema SEMI smjernici E17-91) | <2> | |
| Koeficijent tlaka | <0,02%> | |
| Normalno radno područje temperature | 0 ° C do 50 ° C | |
| Potreban je napon ulaza | Maks. struja prilikom pokretanja (prva 2 s) | ± 15 VDC (± 5%) pri 200 mA |
| Tipična struja u stabilnom stanju | ± 15 VDC (± 5%) pri 100 mA | |
| Postavi signal naredbe točke | 0 do 5 VDC od <20k> | |
| Izlazni signal | 0 do 5 VDC u> 10K Ω | |
| Impedancija izlaza | <1> | |
Vrste priključaka Analog | 9-polni ili 15-pinski tip "D" (15-pinski priključak tipa "D" je elektronički kompatibilan s drugim kontrolerima protoka MKS . Konzultirajte inženjere aplikacija za detalje.) | |
| Umočeni materijali | Standard | 316L SS, Viton®, nikal |
| Neobavezno (brtve i sjedište ventila) | Buna-N, Neoprene®, Kalrez® | |
| Integriranost propuštanja | Vanjski (scc / sec On) | <1 x="" 10=""> |
| Kroz zatvoreni ventil | <1,0% fs="" na="" ulazu="" od="" 40="" psig="" do=""> e (Kako bi se osigurao protočni protok, preporučuje se poseban pozitivni ventil za zatvaranje.) | |
| Priključci (kompatibilni s) | Swagelok® 4 VCR®, Swagelok® 4 VCO®, ¼ '' Swagelok | |
| Usklađenost | CE | |
DIMENZIONALNO CRTEŽ
Napomena: Ukoliko nije drugačije navedeno, dimenzije su nominalne vrijednosti u inčima (mm referenced).
Popularni tagovi: kontroler opće namjene masenog protoka - mks 1179c, Kina, proizvođači, dobavljači, kupuju, prilagođeni, proizvedeni u Kini
Mogli biste i voljeti
