Načelo i primjena Holl Ion Source

Načelo i primjena izvora holl iona

Princip rada izvora izvora

Vrsta izvora iona

Prema jonskoj energiji dijeli se na:

Visoka energija 200ev ili više, kao što je APS, RF, Kaufmanov izvor;

Izvor ionskog iona ispod niske energije 200ev

Podijeljeno prema vrsti:

Kaufmanov tip i Hall tip

Kako ionski izvori rade

U stvarnoj gustoj okolini plin koji se puni u vakuumsku komoru uklanja se korištenjem emitiranih elektrona u interakciji električnih i magnetskih polja, a ioni se emitiraju pod djelovanjem električnog i magnetskog polja.

Strukturni princip izvora iona u hali
komponente:
Katoda - emitira elektrone
Anoda - proizvodi ione
Plin - osigurava ionizirani plin
Napajanje

Struktura izvora iona Halla

Struktura Kaufmanovog ionskog izvora

Ionska energija izvora iona:

Splitski izvor ionskog kaufmana: je napon između anode i mreže
Izvor ionskog iona: 65-70% anodnog napona

IKS PVD ET IET oprema za oblaganje, kontaktirajte: iks.pvd@foxmail.com