PECVD sustavi kontrole plina i protoka

Opskrba plinom PECVD sustava gotovo se uvijek vrši pomoću plinskih boca, koje su smještene u plinskom ormaru s mnogo sigurnosnih uređaja, a isporučuju se u procesnu komoru PECVD-a preko kontrolne ploče na plinskom ormaru i cijevima.

U taloženju će količina reakcijskog plina utjecati na brzinu taloženja i njegovu ujednačenost, stoga je potrebno strogo kontrolirati protok plina, a za postizanje precizne kontrole obično se koristi mjerač masenog protoka.

Tvrtka IKS PVD, stroj za dekorativno premazivanje, stroj za premazivanje alata, stroj za DLC premazivanje, stroj za optičko premazivanje, linija za vakuumsko premazivanje PVD, dostupan je projekt po principu "ključ u ruke". Kontaktirajte nas odmah, E-mail: iks.pvd@foxmail.com