Uobičajeni problemi PECVD opreme-Tlak reakcijske komore je nestabilan

Uobičajeni problemi PECVD opreme-Tlak reakcijske komore je nestabilan

(1) Provjerite imaju li mijehovi vakuumskog sustava opreme pukotine.

(2) Provjerite je li mjerač protoka plina normalan.

(3) Ručno provjerite je li prekidač leptir ventila normalan.

(4) Vakuumska pumpa nije normalna, a mjerač vakuuma koristi se za mjerenje je li brzina pumpanja vakuumske pumpe normalna.

Tvrtka IKS PVD, stroj za dekorativno premazivanje, stroj za premazivanje alata, stroj za DLC premazivanje, stroj za optičko premazivanje, linija za vakuumsko premazivanje PVD, dostupan je projekt po principu "ključ u ruke". Kontaktirajte nas odmah, E-mail: iks.pvd@foxmail.com