PECVD sustav automatskog vakuumskog taloženja

Sustav taloženja sastoji se od radiofrekventnog napajanja, sustava vodenog hlađenja i uređaja za grijanje supstrata. To je ključni dio PECVD-a. Funkcija RF napajanja je ionizacija reakcijskog plina. Sustav vodenog hlađenja uglavnom osigurava hlađenje mehaničke pumpe, Rootsove pumpe, suhe pumpe, molekularne pumpe itd. PECVD sustava. Kada temperatura vode prijeđe potrebnu temperaturu tijela pumpe, ona će poslati signal alarma. Za hlađenje vodovodnih cijevi treba koristiti izolacijske materijale kao što su plastične cijevi, a ne smiju se koristiti metalne cijevi. Funkcija uređaja za grijanje supstrata je zagrijavanje uzorka na potrebnu temperaturu procesa, uklanjanje nečistoća poput vodene pare na uzorku i poboljšanje adhezije između filma i uzorka.

Tvrtka IKS PVD, stroj za dekorativno premazivanje, stroj za premazivanje alata, stroj za DLC premazivanje, stroj za optičko premazivanje, linija za vakuumsko premazivanje PVD, dostupan je projekt po principu "ključ u ruke". Kontaktirajte nas odmah, E-mail: iks.pvd@foxmail.com