Isparavanje elektronskih zraka

Isparavanje elektronskim snopom

Tehnologija isparavanja - Isparavanje elektronskih zraka

Vakuumski isparavajući premaz: Postupak u kojem se kruti materijal zagrijava u okolini visokog vakuuma da se sublimira ili ispari i taloži na određenom supstratu da bi se dobio film.

Klasifikacija tehnologije vakuumske evaporacije:

Otporno toplinsko isparavanje

2. Isparavanje elektronskim snopom

3. Visokofrekventno indukcijsko isparavanje

4. Isparavanje laserskog snopa

Uobičajeno korišteni metod isparavanja otpornog grijanja je da se materijal koji se ispari stavi u uređaj za otporno grijanje, a otporno grijanje u krugu opskrbljuje toplinu isparavanja da ispari materijal koji se taloži. U ovoj metodi, uobičajeno korišteni nosivi materijali za zagrijavanje su vatrostalni metali kao što su volfram, tantal i molibden, od kojih svi imaju visoku točku taljenja i niske karakteristike tlaka para. Podložni grijaći materijal općenito ima oblik filamenta ili folije.

Kao što je prikazano, uređaj za grijanje je izrađen od tanke žice volfram / molibden (promjera 0,05-0,13 cm). Isparivač se stavlja izravno na uređaj za zagrijavanje filamenta. Kada se zagrije, isparivač mokri otpornu žicu i podupire se površinskom napetošću. Tipična žica s više pramenova osigurava veću površinu od jedne niti. Ovaj tip grijaćeg uređaja ima četiri glavna nedostatka:

(1) Mogu se koristiti samo za isparavanje metala ili određenih legura:

(2) U određenom vremenskom razdoblju isparava se samo ograničena količina isparenog materijala:

(3) Pri zagrijavanju materijal za isparavanje mora navlažiti otpornu žicu:

(4) Nakon zagrijavanja, ovi električni filamenti postaju krti i razbije se ako se njima ne rukuje na odgovarajući način.

Udubljena folija je napravljena od lista volframa, tantala ili molibdena i ima debljinu općenito u rasponu od 0.005 do 0.015 inča. Ovaj izvor izvora isparavanja je najprikladniji kada postoji samo mala količina materijala za isparavanje. Kada se zagrijavaju u vakuumu, volfram, tantal ili molibden postat će krhki, osobito kada su legirani materijalom za isparavanje.

Glavni nedostaci električnog isparavanja yang grijanja su:

(1) Podložni lončić i materijal reagiraju s isparavanjem.

(2) Teško je dobiti dovoljno visoku temperaturu za isparavanje dielektričnih materijala kao što su A1203, Ta2O5, Ti02 i slično.

(3) Brzina isparavanja je niska.

(4) Legura ili spoj će se raspasti pri zagrijavanju.

Isparavanje elektronskim snopom: Metoda u kojoj se materijal za isparavanje stavlja u vodeno hlađeni lončić i izravno se zagrijava elektronskim snopom za isparavanje materijala za isparavanje i kondenziranje na supstratu kako bi se stvorio tanki film.

Nedostatak isparavanja otpornim zagrijavanjem je u tome što metoda nije pogodna za isparavanje tvari visoke čistoće ili visokog taljenja, a isparavanje elektronskim snopom može prevladati taj nedostatak isparavanja otpora, pa je zagrijavanje elektronskim snopom postalo isparavanje visokim tlakom film i visoka čistoća. Glavna metoda filma. U tehnologiji isparavanja elektronskim snopom, snop elektrona ubrzava se nakon prolaska električnog polja od 5-10 kV.

Konačno se usredotočite na površinu materijala koji se isparava. Kada elektronska zraka pogodi površinu materijala koji se isparava, elektroni će brzo izgubiti svoju energiju, prenijeti energiju na materijal koji treba ispariti da bi se rastopili i isparili, tj. Površina materijala koji se isparava izravno se zagrijava pomoću elektronske zrake u sudaru. Način grijanja je vrlo različit.

Budući da materijal za isparavanje koji je u kontaktu s lončićem koji sadrži materijal koji treba ispariti ostaje krut tijekom cijelog postupka taloženja isparavanjem, mogućnost da materijal koji se isparava reagira s lončićem je minimiziran. Isparavanje materijala u vodeno hlađenim posudama izravno pomoću grijanja elektronskim snopom uobičajena je metoda kod isparavanja elektronskim snopom. Za isparavanje aktivnih materijala, posebno aktivnih vatrostalnih materijala, potrebno je vodeno hlađenje lonca. Vodenim hlađenjem može se izbjeći reakcija između materijala za isparavanje i stijenke lonca, pri čemu se može pripremiti film visoke čistoće.

U sustavu za isparavanje elektronskog snopa, uređaj koji generira elektronski zrak postaje elektronski top. Prema različitim metodama elektronskog fokusiranja, elektronski se pištolj može podijeliti na prsten s pištoljem, ravno pištolj i e-pištolj.

Pištolj s prstenom emitira elektronski zrak iz prstenaste katode, koja se odbija od katodnog prstena i zatim udara u 坩 埚 (

Materijal se isparava u anodi, kao što je prikazano u strukturnom dijelu. Struktura pištolja tipa prsten je jednostavna, trošak

Niska, jednostavna za uporabu. Međutim, budući da je katoda prstenastog pištolja vrlo blizu anode, lako se može slomiti.

Žica je također lako kontaminirana; u isto vrijeme, položaj pozicije elektronskog snopa je fiksiran i lako se pojavljuje

Budući da snaga i učinkovitost prstenastog pištolja nije visoka, manje se koristi.

Prednosti: jednostavna struktura, niska cijena i jednostavan za korištenje

Nedostaci: Lako onečišćenje vlaknima

Točka fiksacija je sklon "jamu" isparavanja

Snaga i učinkovitost nisu visoke

Ravni pištolj je osnosimetrični pištolj linearnog ubrzanja. Elektronski snop koji se emitira iz grijaćeg filamenta ubrzava se pomoću anode, a zatim se fokusira magnetskim poljem, a zatim bombardira s materijalom u lončiću da se istopi i ispari. Među njima, djelovanje xy otklonske zavojnice To je da se fokusirani elektronski snop pomakne u malom rasponu, tako da se položaj točke izoštravanja može podesiti.

Prednosti: jednostavan za korištenje; širok raspon snage (nekoliko stotina vata do nekoliko stotina suhih vata) lako se podešava

Nedostaci: Oprema je glomazna, struktura je složena, a troškovi su visoki: isparavanje materijala u selu će zagaditi strukturu tijela pištolja, a natrijevi ioni koji izlaze na nit će uzrokovati mrlju na filmu.

E-pištolj je elektronski pištolj koji odbija elektronsku zraku za 270 ° i nazvan je po putanji elektrona u obliku "e".

Elektronska zraka koja se emitira iz filamenta ubrzava se s naponima s odstupanjem od nekoliko tisuća volti i slijepi

Nakon odbijanja magnetskog polja za 270 ° , materijal isparavanja u lončiću se bombardira da bi se rastopio i ispario.

Prednosti: Izbjegavajte onečišćenje filamenta materijalom za isparavanje i onečišćenje filamenta tankim filamentom

Velika snaga (oko 10kW). Talište visoke temperature taljenja

Energija čestica isparavanja je visoka, adhezija filma na podlogu je velika, a kvaliteta oblikovanja filma je dobra.

Nedostaci: potreban je visoki vakuum i potrebna je visokonaponska oprema. Struktura opreme je komplicirana, teško ju je održavati, a troškovi opreme su visoki.

Prednosti isparavanja električnih zraka su sljedeće: (1) Može izravno zagrijavati materijal isparavanja, smanjiti gubitak topline i ima veću toplinsku učinkovitost: (2) Gustoća energije koju generira elektronska zraka je velika, a materijal s visokim talište (više od 3000 ° C) može se ispariti. i ima veću brzinu isparavanja: (3) Lončić koji sadrži materijal za isparavanje je hladan ili ohlađen vodom, što može izbjeći reakciju materijala za isparavanje i isparavanje materijala spremnika, čime se poboljšava čistoća filma.

Nedostaci su sljedeći: (1) Uređaj za grijanje je kompliciran: (2) molekule zaostalog plina u ravnom prostoru i pare djelomično isparenog materijala ioniziraju se elektronskom zrakom, što može utjecati na strukturu i fizička svojstva film.

IKS-OPT2700 je stroj za oblaganje isparavanjem elektronskim snopom, za sva pitanja, kontaktirajte: iks.pvd@foxmail.com