Kratak uvod PVD sustava za prskanje i kontrolni sustav

Sputtering sustav

Sputtering sustav je jezgra PVD premaza, koja se sastoji od ciljeva , ciljanog napajanja i posebnog plina. Postoje mnoge vrste ciljne napajanja i dolaze u nekoliko varijanti kao ispod:

1. Prema izlaznom načinu rada , postoji DC opskrba energijom , AC napajanje (sinusni val, kvadratni val), napajanje impulsa i istosmjerni naponski impuls napona ;

2. Prema izlaznoj frekvenciji , postoji DC opskrba energijom , niskonaponska napajanja i napajanje srednje frekvencije ;

3. Prema snazi , postoje male snage, srednje napajanje, velika napajanja i super napajanje;

4. Prema načinu rada , postoji konstantna struja napajanja, konstantno naponsko napajanje i konstantno napajanje.

Kontrolni sustav

Upravljački sustav je duša cijelog uređaja, kontrolira rad čitavog sustava. Kontrolni sustav sastoji se od operativnog sustava softvera, sustava za prikupljanje podataka, sustava za analizu podataka i izvršnog sustava prijenosa i tako dalje. Među njima, sustav prikupljanja podataka prikuplja, protok (pare), vakuumski tlak, brzina motora, položaj ventila i druge informacije. Osim toga, operativni sustav softvera i sustav analize podataka su PLC u većini slučajeva. Štoviše, izvršni prijenosni sustav sastoji se od raznih releja, kontaktora, elektromagnetskih ventila, prekidača itd.