razne vrste CVD opreme

Postoje razne vrste CVD opreme. Trenutno je PECVD glavna tehnologija, a očekuje se da će se njezin tržišni udio u budućnosti dodatno povećati. CVD, nova tehnologija razvijena u posljednjim desetljećima za pripremu anorganskih materijala, odnosi se na proces u kojem tvari u plinovitom ili parovitom stanju reagiraju na plinovitoj fazi ili na međupovršini plina i krutine i stvaraju čvrste sedimente. Kemijsko taloženje iz pare (CVD) naširoko se koristi za pročišćavanje tvari, razvoj novih kristala i taloženje svih vrsta monokristalnih, polikristalnih ili staklastih anorganskih tankoslojnih materijala. Ovi materijali mogu biti oksidi, sulfidi, nitridi, karbidi ili binarni ili multivarijantni interelementni spojevi skupina III-V, II-IV i IV-VI, a njihove fizičke funkcije mogu se precizno kontrolirati procesima taloženja dopinga u plinskoj fazi. Ponovljivost CVD premaza i stepenasta pokrivenost su dobri i mogu se koristiti za SiO2, Si3N4, PSG, BPSG, TEOS i druge srednje filmove, kao i za taloženje filmova poluvodiča, metala (W), svih vrsta metalno-organskih spojeva. Postoje mnoge vrste KVB, koje se mogu grubo podijeliti na APCVD, LPCVD, SACVD, PECVD, MOCVD i druge kategorije prema tlaku u komori i vanjskoj energiji. CVD opremom je lako dobiti izvore reakcije, komponente premaza su raznolike, a oprema je relativno jednostavna, posebno prikladna za površine dijelova složenog oblika i premazivanje unutarnje rupe.

Tvrtka IKS PVD, stroj za dekorativno premazivanje, stroj za premazivanje alata, stroj za DLC premazivanje, stroj za optičko premazivanje, linija za vakuumsko premazivanje PVD, dostupan je projekt po principu "ključ u ruke". Kontaktirajte nas odmah, E-mail:iks.pvd@foxmail.com