Sustav ultra visokog vakuuma

Sustav ultra visokog vakuuma

Sustav hladne zamke serije mehaničkih pumpi serije difuzijske pumpe
Slika 5-13 prikazuje vakuumski sustav, difuzijsku pumpu serije dva, hladnu zamku s tekućim dušikom, a vakuumska komora i hladna zamka 6 mogu izdržati pečenje na 400 ~ 450 stupnjeva. Na ovoj temperaturi, plin adsorbiran na stijenci vakuumske komore i stijenci hladnog odvodnika, te kondenzirano ulje pumpe mogu se ukloniti. Sustav općenito može postići granični vakuum od 1,33×10-7Pa.

▲ Slika 5-13 Sustav ultravisokog vakuuma pumpe za difuziju ulja: 1- Vakuumska komora 2- Termoelement mjerač vakuuma 3-BA mjerač vakuuma 4- Odzračni ventil {{7} } Ultravisoki vakuumski ventil 6,7- hladna zamka 8- ionizacijski mjerač vakuuma 9- Difuzijska pumpa 10- prednji cijevni ventil 11- prednji zamka 12- Solenoidni ventil 13- Mehanička pumpa 14- cijevni ventil ultravisokog vakuuma 15- uređaj za pečenje

Tvrtka IKS PVD, stroj za dekorativno premazivanje, stroj za premazivanje alata, DLC stroj za premazivanje, stroj za optičko premazivanje, PVD linija za vakuumsko premazivanje, projekt ključ u ruke je dostupan. Kontaktirajte nas odmah, E-pošta: iks.pvd@foxmail.com