Čimbenici nejednake tanki Film uzrok Magnetron rasprašenje vakuum premaza Machine

Faktori neravna sloj nanijeti mimomagnetron prskanje vakuum premaza machineuključivati tri aspekta: vakuum država, magnetsko polje i argon plin.

Princip rada jemagnetron prskanje vakuum premaza machineje li to pod vakuum države, elektron ortogonalna magnetsko polje bombardirati argon i formira argonski ionski, zatim bombardiranje ciljani materijal, tako da cilj iona može biti pohranjena na površini izradak u obliku tankog filma.

Vakuum država treba crpni sustav za kontrolu i svaki otvor treba biti istovremeno aktivirati i dosljedan. Ako je pumpa nije jedinstvena, tlak unutar vakuumske komore će biti neujednačena. Pritisak ima određeni utjecaj na kretanje iona. Osim toga, vrijeme pumpanja mora biti kontrolirana. Prekratko će uzrokovati nedovoljno vakuum, ali to je previše dugo i rasipanje resursa.

Magnetsko polje djeluje vodoravno, ali nemoguće je da intenzitet magnetskog polja 100% uniformu. Gdje opće magnetsko polje je jaka, debljina film je veliki, ali mala je naprotiv, tako će izazvati nedosljednost debljinu filma. Međutim, u procesu proizvodnje neravnine film zbog neujednačenost magnetsko polje nije uobičajena.

Argon plin ujednačenost utječe i na filmu uniformnost, a princip je sličan vakuum. Jer argona ulazi u vakuum komori, pritisak unutar komore će se promijeniti. Jedinstvene tlaka može kontrolirati ujednačenost debljina magnetron prskanje vakuum premaza machine.

Za više od deset godina,IKSspecijalizirana za sve vrste vakuum premaz programskom opremom proizvodnja, posvećena istraživanju i razvoju i proizvodnji vakuum premaz za, sa najnoviji tehnologija stalno proizvode za potrebe tržišta vakuum premaz opreme , pružajući klijentima s prilagođenim tehnoloških rješenja i opreme.