Kombinirani sustav ultravisokog vakuuma, ionska pumpa za raspršivanje - set pumpi za sublimaciju od titana

Kombinirani sustav ultravisokog vakuuma, ionska pumpa za raspršivanje - set pumpi za sublimaciju od titana

Slika 5-17 Kombinirani sustav ultravisokog vakuuma: 1- vakuumska komora 2- Zasun ultravisokog vakuuma 3- Ionska pumpa za raspršivanje - grupa pumpi za sublimaciju titana 4- Ultra -zasun za visoki vakuum 5- hladna zamka 6- difuzijska pumpa 7- ventil prednjeg cjevovoda 8- Ventil za cjevovod za ultra visoki vakuum 9- odzračni ventil 10- mehanička vakuum pumpa

Slika 5-17 prikazuje drugu vrstu kombiniranog sustava ultravisokog vakuuma. Sustav je prikladan za peći za vakuumsko brtvljenje, peći za ploče tantala i drugu opremu. Glavna pumpa sustava je grupa pumpe za raspršivanje iona i pumpe za sublimaciju titana. Granični vakuum vakuumske komore može doseći 5×10-7Pa. Sustav je opremljen jedinicom koja se sastoji od pumpe za difuziju ulja i mehaničke pumpe, koja se koristi za grubo pumpanje i pretpumpanje kao glavna pumpa, i može ispumpati velike količine oslobođene tijekom procesa

Tvrtka IKS PVD, stroj za dekorativno premazivanje, stroj za premazivanje alata, stroj za DLC premazivanje, stroj za optičko premazivanje, linija za vakuumsko premazivanje PVD, dostupan je projekt po principu "ključ u ruke". Kontaktirajte nas odmah, E-mail: iks.pvd@foxmail.com