Karakterizacija stupnja vakuuma, jedinice i podjela vakuumskog područja

Karakterizacija stupnja vakuuma, jedinice i podjela vakuumskog područja

IKS PVD, proizvodimo PVD opremu za vakuumsko premazivanje, kontaktirajte nas sada, iks.pvd @ foxmail.come

Nije vrlo razumno koristiti tlak za prikaz stupnja vakuuma, koji je korišten u povijesti mjerenja vakuuma pomoću manometra u-tipa.

U općem vakuumskom sustavu obično se za izražavanje stupnja vakuuma koristi hidrostatska fizikalna veličina izotropnog tlaka neutralnog plina. Stoga se mjerenje stupnja vakuuma svodi samo na mjerenje tlaka. Međutim, posebnu pozornost treba posvetiti uvjetima mjerenja, koji su stacionarni (slučajni pokret), ustaljeno stanje i izotropni pojedinačni neutralni plin u konačnom spremniku. U ovom slučaju, raspodjela maksimalne brzine, zakon kosinusnog rasipanja i koncept hidrostatskog tlaka (p = nkT, v = 1 / 4nc, p = ρ gh) relativno su konzistentni s objektivnom stvarnošću, mjerenje vakuuma je relativno jednostavno i lako.

Prema definiciji stupnja vakuuma, bolje je izraziti stupanj vakuuma molekularnom gustoćom n, a nije proturječno izraziti stupanj vakuuma tlakom. Kada se mjeri tlak, plin je općenito u ravnotežnom stanju i zadovoljava maksvellov zakon raspodjele brzine, tj. P = nkT je istinit. Temperatura plina je konstantna u vrijeme mjerenja, tako da je tlak plina p proporcionalan molekularnoj gustoći n. Drugim riječima, tlak je mjera molekularne gustoće, tako da se vakuum može izraziti kao tlak.

U svemirskim istraživanjima, predmet istraživanja je kretanje beskonačnog prostora (1 ~ 10 KMS - 1 ili više) i pod djelovanjem složene nestacionarne, integrirane atmosfere okruženja, zakon Max raspodjele brzine i kosinusno raspršenje zakon ne nužno, također izgubio je izvorno fizičko značenje, tako da je pritisak mjerenja vakuuma složeniji i teži.

Općenito, popularan je i koristi se za izražavanje stupnja vakuuma tlakom, ali nije jedini. Sljedeći parametri se također mogu koristiti za izražavanje stupnja vakuuma:

Kada je stupanj vakuuma vrlo visok, tj. Kada je molekularna gustoća vrlo mala, statistička fluktuacija je vrlo očita. Na primjer, kada je tlak p = 10-12pa, statistička fluktuacija je veća od 5 puta 10-2, a pritisak je izgubio svoj pravi značaj. Stoga je u nekim slučajevima pritisak samo relativni pokazatelj drugih količina .

1. Pitanja i odgovori

Vakuumske jedinice?

Tlak plina koji je određen sudaranjem molekule plina na površini je brzina vremenske promjene vertikalne komponente momenta molekule plina koja se sudara s jediničnom površinom, tj. Sila primljena po jedinici površine u Paskalu ili Pa.

1 pa = 1 Nm - 2

U inženjerstvu, ponekad je vrijednost pa je premala, kPa i MPa se često koriste za izražavanje pritiska. Nizak vakuum, ponekad izražen kao "vakuum postotak", kao što su vakuumska pumpa s vodenim prstenom, klipna vakuumska pumpa i vakuumska pumpa ravnih zraka često se izražava u ovom jediničnom vakuumu. Kada je tlak p> 102Pa, vakuum postotak je delta.

Gdje: p0 - standardni atmosferski tlak, Pa

Vakuumsko zoniranje

Kod jedinice za mjerenje stupnja vakuuma stupanj vakuuma se može kvantitativno izraziti. Međutim, za sada je raspon tlaka uključen u vakuumsku tehnologiju dosegao 20 redova veličine, kako bi se olakšalo korištenje, ponekad je samo potrebno grubo ukazati na opći raspon stupnja vakuuma, obično kvalitativno podijeljenog u nekoliko područja, približno vakuumski , Fizička svojstva molekularnog gibanja plina u vakuumu i učinkovit radni raspon vakuumske pumpe i vakuumskog mjernog uređaja razmatraju se u osnovi podjele regija.

Što se tiče podjele vakuumskih regija u Kini, uvjeti vakuumske tehnologije (gb3163-1982) propisuju sljedeće:

Grubi vakuum, niski vakuum i visoki vakuum se dijele prema prosječnom slobodnom putu molekula plina u usporedbi s karakterističnom veličinom d spremnika. Glavno je razmatranje da li sudar između molekula plina ili sudara između molekula plina i stijenke uređaja igra odlučujuću ulogu u nastanku fizičkih pojava.

Granica između visokog vakuuma i ultra visokog vakuuma postavljena je kao 10-6Pa. Glavni je razlog razmotriti mehanizam vakuumske fizikalne adsorpcije. Tek kada je tlak p <10-6pa očigledan,="" može="" se="" dobiti="" difuzijskom="" pumpom="" za="" ekstrakciju,="" a="" tlak="" se="" mjeri="" ba=""> Što se tiče granice između ultra visokog vakuuma i ultra visokog vakuuma, to je zato što se statistička fluktuacija (veća od 5 x 10-2) događa kada p <10-12>

Gornja vakuumska područja su podijeljena na područja koja predstavljaju raspon tlaka, iz razloga što je tlak i dalje izražen u stupnjevima. Međutim, u niskom vakuumu, visokom vakuumu, vrlo visokom vakuumu i vrlo visokom vakuumu, navedeni tlak je bitno različit, samo relativna indikacija drugih količina.

Fizikalna svojstva vakuuma, vakuumske pumpe i vakuumskog mjernog uređaja koji se koriste u svakoj regiji su detaljno opisana u tablici 1.

Razvojem vakuumske tehnologije također se promijenila podjela vakuumskih područja.