Osnovne komponente alata za premazivanje alata

Suvremena oprema za vakuumsku prevlaku (jednolika tehnologija grijanja, tehnologija mjerenja temperature, neuravnotežena tehnologija sputnjele magnetrona, pomoćna anodna tehnologija, srednja frekvencijska napajanja, pulsna tehnologija) uglavnom se sastoji od vakuumske komore, vakuumske pumpne sekcije, odjeljka za mjerenje vakuuma, dijela napajanja, procesa ulazni sustav plina, mehanički prijenosni dio, dio za mjerenje temperature i temperature, isparavanje iona ili raspršivanje, sustav hlađenja vode i ostali dijelovi.

1. Vakuumska komora

Oprema za premazivanje uglavnom je podijeljena u kontinuiranu proizvodnu liniju premaza i stroju za premazivanje s jednim komorom Zbog visokih zahtjeva prevlake kalupa i alata na dijelovima za grijanje i mehaničkih prijenosa, kao i velikog različitog oblika i veličine kalupa, kontinuirana proizvodna linija za oblaganje obično je teško zadovoljiti zahtjev i jednoslojni premazivač uvijek se koristi.

2. Sustav vakuumskog pumpa

U vakuumskoj tehnologiji sustav vakuumskih crpki važan je dio. Zbog visokih zahtjeva za prijanjanjem premaza i alata, postupak premazivanja zahtijeva dobar vakuum u pozadini, pa je razumni izbor vakuumskog sustava za pumpanje opreme nužno za postizanje visokog vakuumskog stupnja. Za sada ne postoji crpka koja može raditi od atmosferskog tlaka dok ne približava iznimno visokom vakuumu. Stoga, dobar vakuum se ne može postići jednim vakuumskim sredstvom ili metodama. U kombinaciji se mora koristiti nekoliko pumpi, kao što su mehanička crpka, sustavi molekularne pumpe i tako dalje.

3. Sustav mjerenja vakuuma

Mjerenje vakuumskog dijela vakuumskog sustava se koristi za mjerenje tlaka u vakuum komori. Poput vakuumske crpke, nema vakuumskog mjerača koji može mjeriti cijeli raspon vakuuma. Toliko se vrsta vakuumskih mjerača proizvodi prema različitim načelima i zahtjevima.

4. Sustav napajanja

Ciljani izvor napajanja uglavnom uključuje DC napajanje (kao što je MDX) i međufazni napajanje (kao što su PE, PEII i PINACAL tvrtke American AE). Uobičajeno je da se obradi isporučen s istosmjernom napajanjem (kao što je MDX), pulsiranom napajanjem (poput PINACAL + kojeg proizvodi American AE Company), ili RF napajanje (RF).

5. Procesni ulazni sustav plina

Procesni plinovi, kao što su argon (Ar), helij (Kr), dušik (N2), acetilen (C2H2), metan (CH4), vodik (H2) i kisik (O2) općenito se opskrbljuju plinskim cilindrima. Ulazi su vakuumska komora kroz ventil za smanjenje tlaka plina, ventil za zatvaranje plina, cjevovod, mjerač protoka plina, solenoidni ventil, piezoelektrični ventil. Prednost ove vrste plinskog ulaznog sustava je da cjevovodi su jednostavni i čisti, te je lako popraviti ili zamijeniti cilindar. Također, svaka prevlaka ne utječe jedni na druge. Osim toga, postoje i slučajevi u kojima višestruki slojnici dijele skupinu cilindara, koji se mogu naći u nekim od većih obloga, prednosti su to da smanjuje potrošnju plinskih cilindara i čini jedinstveno planiranje i izgled. Nedostatak je to što se šanse za curenje povećavaju zbog puno zglobova. Štoviše, strojevi za oblaganje će se međusobno miješati, a propuštanje zraka cijevi strojne prevlake može utjecati na kvalitetu proizvoda ostalih strojeva za oblaganje. Osim toga, prilikom zamjene cilindara, mora se osigurati da su svi glavni uređaji u stanju neiskorištenja.

6. Mehanički prijenosni sustav

Obloga alata zahtijeva da film mora biti ujednačen u debljini. Stoga, u postupku premazivanja mora postojati tri rotacije kako bi se ispunili zahtjevi. To jest, dok veliki rotacijski stol s obradcima odvija, rotira se i mali stol s noževima, a sam se obradak može rotirati u isto vrijeme. U mehaničkom dizajnu obično postoji veliki pogonski zupčanik u sredini dna velikog okretnog tanjura, koji je okružen nekim malim zvijezdnim kotačima kako bi se mogao povezati s njom, a potom koristite vilicu za promjenu da biste zakvačili radni komad. Naravno, pri izradi premaza za kalupe, obično su dvije rotacije dovoljne, ali se kapacitet opterećenja mora povećati.

7. Sustav grijanja i temperature

Pri izradi premaza za kalupe, kako bi se osigurala ravnomjerno zagrijavanje obradaka, mnogo je važnije od onog u dekorativnom postupku oblaganja. Oprema za premazivanje kalupa obično ima dva grijača naprijed i natrag, a termoelement se koristi za mjerenje i kontrolu temperature. Međutim, zbog različitih steznih točaka termoelementa, očitavanje temperature ne može biti istinska temperatura obradaka. Postoji mnogo načina mjerenja prave temperature radnog dijela. Ovdje je jednostavan za korištenje površinski termometar. Načelo rada ovog termometra je da kada se toplomjer zagrije, opruga na dnu će se zagrijavati kako bi se proširila, tako da pokazivač pritisne pokazivač za pozicioniranje da rotira sve do maksimalne temperature. Kad se temperatura smanji, opruga se smanjuje i pokazivač se okreće u obrnutom smjeru, ali pokazivač za pozicioniranje ostaje na najvišem položaju temperature. Nakon otvaranja vrata pročitajte temperaturu označenu pokazivačem za pozicioniranje, odnosno najvišu temperaturu koju je površinski termometar postigao kada se zagrijava u vakuum komori.

8. Isparavanje iona i izbjeljivanje iona

Izvor isparavanja višeslojnog plašta općenito je okrugla, obično poznata kao okrugla meta. Posljednjih godina pojavljuje se i pravokutni višesmjerni cilj, ali nije zapažen nikakav očigledan učinak. Okrugla meta se montira na držač bakrenog cilindra (držač katoda) i dva su vijčana zajedno. U držaču cilja nalazi se magnet, a snaga magnetskog polja može se mijenjati pomicanjem magneta naprijed-nazad, a na taj način se također može podesiti brzina kretanja i praćenje točke luka. Kako bi se smanjila temperatura cilja i držača cilja, vodom za hlađenje se kontinuirano dobiva na držaču cilja. Da bi se osigurala visoka električna i toplinska vodljivost između cilja i držača cilindra, brtvljenje kositra (Sn) također se može dodati između cilja i držača cilja. Osim toga, magnetron sputtering premaz obično koristi pravokutne ili cilindrične ciljeve.

9. Sustav hlađenja vode

Za oblaganje plijesni, kako bi se povećala brzina atomizacije atoma metala, svaki držač za katodni stupac prihvaća što veću snagu što zahtijeva odgovarajuće hlađenje. Nadalje, temperatura zagrijavanja mnogih vrsta alata i premaza za kalupe iznosi 400 ~ 500 ° C. Stoga je također vrlo važno hlađenje stijenke vakuumske komore i svake brtvene površine, tako da se rashladna voda preferirano dobiva iz hladnjaka od oko 18 do 20 ° C. Kako bi se spriječile zidove vakuuma s niskotemperaturnim vakuumskim komorama i katodnim ciljevima, kada se otvore vrata, kada je u dodiru s vrućim zrakom otapanje vode, sustav za hlađenje vode trebao bi se prebaciti na stanje dovoda tople vode oko 10 minuta prije otvaranja vrata. Temperatura tople vode je oko 40 ~ 45 ° C.