Oprema za oblaganje isparavanjem elektronskih zraka

Oprema za oblaganje isparavanjem elektronskih zraka

EB PVD optički premazni stroj, primjena: naočale, reflektirajuće zrcalo, mobilni telefon, zaštitni poklopac, optička komunikacija, optički zaslon, itd.

  • Uvod u proizvod

 

IKS-OPT2700 Stroj za optičko premazivanje isparavanjem elektronskih zraka

l   Prijave:

 

Naočale, reflektirajuće zrcalo, ploča mobilnog telefona, zaštitni poklopac, optička komunikacija, optički zaslon, itd

 

l   Ukratko o opremi

 

IKS-OPT2700 je dizajniran za optičko premazivanje na velikim površinama. Sustav za premazivanje sastoji se od vakuumske komore, vakuumske pumpe, detekcije i kontrole vakuuma, sustava grijanja supstrata, sustava za isparavanje elektronskog snopa, sustava za taloženje pomoću izvora ionskih izvora, sustava za isparavanje otpora, sustava za nadzor debljine filma, sustava kontrole protoka radnog plina sustav rotacije komada i automatsko premazivanje kontrolirano PLC-om.

Materijal za isparavanje se obično koristi za rijetke metale, kao što je itrij fluorid, praseodimij fluorid, germanij, cink sulfid, magnezij fluorid, titan dioksid, silicij dioksid, cirkonij, kobalt, galij, selen i drugi metali. Bakar, molibden, silicij, germanij i drugi metali uobičajeno se koriste u optičkim materijalima reflektora.

Može se premazati filmom boje vidljivog svjetla, aluminijskim reflektirajućim filmom, AF filmom protiv otisaka, organskim filmom s niskom točkom tališta, spektroskopskim filmom vidljive svjetlosti, antirefleksijskim filmom vidljivog svjetla itd.


l   Značajke opreme

 

IKS-OPT2700 sustav za optičko premazivanje velikih površina, pomoću optimizacije strukture vakuumske komore, inovativan dizajn kriogene pumpe, dizajn stabilnog radnog komada rotirajućeg okvira, napredni sustav za isparavanje elektronskim snopom, uređaj za podešavanje ujednačenosti i humanizirano upravljanje procesom oblaganja, Stabilno vakuumsko okruženje, koji je dobio najbolji postupak oblaganja, dobio je proizvode visoke kvalitete.

 

1. Veličina komore, F2700 × H1670

8. podna površina: L6 × w5.5 × H3.5m

2. Stupanj vakuuma: krajnji vakuum: 6 × 10 -4 Pa ( bez opterećenja 24 sata bez zagrijavanja )

9.Težina: 8000kg, težina poda / 1000kg / m2

3. Brzina propuštanja: × 4 × 10 -3 Pa × L / S (provjera curenja helija)

10.Temperatura: Na sobnoj temperaturi do 250 , ujednačenost temperature ± 5%

4. Radni vakuum: 6 × 10 -3 Pa ( automatsko pokretanje procesa )

11.Power Supply: trofazni, 380V Hz 50Hz -1 60-100KW

5.Low Vacuum: 10 minuta 10Pa

12. Hlađenje vode: protok u komori L 4000L / H , protok crpke L 1800L / H, rashladni kompresor L 1600L / H

6. Visok vakuum: 6 minuta × 8 × 10 -3 Pa

13.Vruća voda: Izvor isparavanja1800L / H, 35-60

7. Mjerenje vakuuma: nadzor cijelog procesa i prikupljanje podataka u stvarnom vremenu


l   Tehnički parametri

Nadzor debljine filma

 

1.PLC integrirana kontrola 2. Fino taloženje filma, 0.01nm / s 3. Brzo zrelo, povezivanje s elektronskim pištoljem

Kontrola protoka

Regulacijski raspon: 3 ~ 100sccm 500 5-500sccm, Precizno povezivanje s ionskim izvorom, sinkrono upravljanje, kontrola protoka,

Stabilan izlaz, stabilna energija iona je stabilna

Izvor E-snopa

Tip: 10KW, otklon od 270 stupnjeva. Ripple manje od 0,5%, precizna kontrola točke oblik i veličina, sustav kontrole stabilnosti rada i visoke točnosti. Tip pištolja: volframov filament, trajnog tipa

Izvor otpora isparavanja

Tip: Tungsten brod isparava zagrijavanjem. Količina: Dvije skupine elektroda, odaberite instalaciju. Prikladan za posebne postupke premazivanja, cilj je da se u funkciji materijala ili metalnih materijala postigne funkcija isparavanja

Ionski izvor

Tip: 4KW Hall ionski izvor, duga svjetla, širok kut odstupanja, odvojiva anoda, održavanje i čišćenje je vrlo jednostavno

Kontrolni sustav

PC sučelje: 17inches, 1set. TP zaslon osjetljiv na dodir: 15 omcjes.1set. Glavni sustav: IKS Automatsko programiranje logičke kontrole. Sustav automatske kontrole procesa razvijen od strane IKS PVD, To je inteligentni operativni sustav za snimanje procesa u realnom vremenu i povratne informacije o greškama. kontrolu rada.

Siguran dizajn

Glavni prekidač za zaštitu kruga, zaštita od tla, nenormalan alarm sustava, zaštita u realnom vremenu za nadzor sustava

l   Superiornost proizvoda

Tehnološke inovacije

1. Razumna integracija proizvoda i rezultata tehnoloških inovacija, poboljšanje procesnog okruženja, kako bi se postigao stabilan rad sustava premaza!

2. Struktura proizvoda inovacija dizajn je razumno, čvrsto, koncizno, održavanje je zgodan! (dizajn korisničkog stava!)

3. Razvoj inovacija u radu i operativnom sustavu, jednostavno rukovanje, učinkovita i praktična!

4. Proizvodi i procesne tehnologije za postizanje visokokvalitetnog procesa premazivanja, poboljšanje učinkovitosti, ujednačenost, izvrsnu ponovljivost!

5. Postignite inteligentnu kontrolu rada sustava premaza!

6. Optimizacija sigurnosnog sustava, brzo otklanjanje grešaka, detaljno rješenje!

7. Visoka učinkovitost, smanjenje troškova proizvodnje i upravljanja!

 

Tehnološka značajka

1. Dizajn proizvoda, savršenom IKS tehnologijom i proizvodnim performansama bešavne doking integracije, za stvaranje pouzdane, stabilne

Fiksni, sigurni, inteligentni sustavi premaza!

2. Usisavanje vakuuma, ponovno optimiziran dizajn sustava usisavanja vakuuma, kako bi se zadovoljilo brzo i stabilno vakuumsko okruženje!

3. Izvor isparavanja i ionski izvor, razumni raspored i visoka kvaliteta obrade tehnologije, puštanje u pogon tehnologije, kako bi se postigao proces

Proces automatskog podešavanja, elektronske zrake inovativne strukture i točne brzine jamči taloženje materijala točnije i stabilnije!

4. Automatski sustav kontrole rada, novi razvoj točnog i stabilnog sustava! Jednostavno postavljanje, jednostavno rukovanje!

Obloženi proizvod

opt270001

Popularni tagovi: oprema za isparavanje elektronskim snopom, Kina, proizvođači, dobavljači, kupuju, prilagođeni, izrađeni u Kini

Pošaljite upit

(0/10)

clearall